高壓質(zhì)量流量控制器是準(zhǔn)確測(cè)量氣體流量的儀器。由于溫度或壓力的波動(dòng)，測(cè)量值不會(huì)錯(cuò)位。不需要溫度和壓力補(bǔ)償。即使系統(tǒng)壓力波動(dòng)或環(huán)境溫度發(fā)生變化，也可以根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，自動(dòng)將流量恒定在設(shè)定值。它不會(huì)導(dǎo)致它偏離設(shè)定值。
高壓質(zhì)量流量控制器可以準(zhǔn)確控制給定量的氣體，用于不同氣體的比例控制，用于許多過程的流量控制。直接測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，輸出質(zhì)量流量信號(hào)，無需其他設(shè)備。
可以準(zhǔn)確測(cè)量小流量，使用分流裝置，測(cè)量大流量，溫度和壓力范圍大。準(zhǔn)確度高，重復(fù)性好，產(chǎn)品精度高達(dá)±1％FS（滿量程）重復(fù)性為±0.25％FS（滿量程）氣流控制器體積小，安裝方便，操作簡(jiǎn)單。
質(zhì)量流量控制器不僅能檢測(cè)總流量，并且能在檢測(cè)時(shí)自動(dòng)控制總流量。能根據(jù)本身的所需設(shè)置總流量。一般來說，這種質(zhì)量流量計(jì)僅用作流量測(cè)量或監(jiān)測(cè)。該流量控制器采用毛細(xì)管傳熱溫差熱法原理檢測(cè)氣體質(zhì)量流量（無氣溫和負(fù)擔(dān)應(yīng)對(duì)）。傳感器受熱橋測(cè)得的總流量訊號(hào)送至放大器調(diào)大。
檢查出現(xiàn)偏差方法：
1、零點(diǎn)是否有漂移，首先需接通電源，質(zhì)量流量控制器信號(hào)為0的情況下，則需要用萬網(wǎng)表測(cè)一下輸出信號(hào)值以及看一下電源控制器的反饋信號(hào)；
2、氣體是否純凈，如果盤路有污染，那么流量就肯定會(huì)收到影響，這個(gè)時(shí)候可以用高純N2多次清掃，如果還是不能解決則需要找專業(yè)維修點(diǎn)接受A/S；
3、質(zhì)量流量控制器前端壓力是否發(fā)到標(biāo)定壓力，如果質(zhì)量流量控制器的壓力不夠就會(huì)出現(xiàn)達(dá)不到標(biāo)定量程。
