質量流量控制器采用全316L不銹鋼結構及密封的316L不銹鋼傳感器，可根據(jù)不同應用需求選擇相應的彈性密封材料，如：FFKM、EPDM、Viton及Buna-n等。美國MCS耐腐蝕質量流量控制器的層流壓差技術能以驚人的速度測量氣體質量流量，且具備一系列標準性能，如：200：1量程可調比、內(nèi)置30種氣體可選、多功能數(shù)字顯示屏及有條件的終身質保等。

更新時間：2025-09-26

訪問數(shù)量：4996

免費咨詢：86-10-87241391

發(fā)郵件給我們：info@hammertech.com.cn

一、耐腐蝕質量流量控制器產(chǎn)品優(yōu)勢

操作簡單

Alicat 質量流量計&質量流量控制器操作極其簡單，用戶可通過多功能數(shù)字顯示屏調節(jié)參數(shù)，無需連接電腦或其它任何復雜的編程軟件。

精確控制

Alicat 標準型質量流量計&質量流量控制器的精度為±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.)，幾乎所有型號通過增加高精選配項可達±(0.4% Rdg + 0.2% F.S.)。

高性價比

Alicat 質量流量計&質量流量控制器本身耗電極小，從而降低了系統(tǒng)運營的成本，且相比于同類產(chǎn)品，其壓損較低，降低壓損意味著更多氣體進入到系統(tǒng)中，而不是停留在測量&控制設備中。除質量流量外，Alicat 質量流量計&質量流量控制器還可同時測量體積流量、壓力和溫度，您無需另外采購和安裝其它設備。使用累加器(TOT)功能可顯示流經(jīng)氣體總量，是監(jiān)控整個應用過程及減少氣體浪費的有效的方法。

性能

MS/MCS系列質量流量計&質量流量控制器可測量與控制從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量，除了RS-232數(shù)字信號輸出，還配有多種模擬信號輸出。MS系列質量流量計亦有便攜式型號(MBS系列)，采用一塊普通9伏電池供電，即成為一款適用于腐蝕性氣體的二等標準流量校準設備。

反應靈敏

與相應標準型M/MC系列相同，MS/MCS系列質量流量計&質量流量控制器(防腐蝕型)其測量響應小于10毫秒、控制響應為100毫秒。

高重復性

Alicat 的技術使得質量流量計&質量流量控制器幾乎沒有可移動部件，所有零件都被內(nèi)置固定，腔體內(nèi)不存在物理變化，從而具有較高的*性和重復性。所有Alicat 質量流量計&質量流量控制器的重復性可達±0.2% F.S。

值得信賴

現(xiàn)有超過90000臺Alicat設備正被使用在不同領域中，質量流量控制器主要應用于醫(yī)藥、半導體、燃料電池、如：科學研究、泄漏測試、環(huán)境監(jiān)測、真空鍍膜、半導體、汽車制造、光伏、燃料電池、光纖制造、計量以及過程工藝氣體測量&控制等。所有Alicat 設備均具有NIST可溯源校準證書。

二、耐腐蝕質量流量控制器標準性能

多功能數(shù)字顯示屏
顯示多種測量參數(shù)：質量流量、體積流量、溫度和壓力
低壓損
無需預熱
316L不銹鋼本體&傳感器
FFKM、Viton、Buna或EPDM密封材料可選
可調節(jié)PID算法 (僅用于質量流量控制器)
內(nèi)置130種常用氣體可選，開放COMPOSER? — 氣體編輯器，允許用戶自定義混合氣體組分
200:1 量程可調比

三、性能參數(shù)

指標	ALICAT耐腐蝕氣體質量流量控制器
量程	0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....1500SLPM，2000SLPM，3000SLPM
精度	±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程）
重復性	±0.2%
量程比	200:1
響應時間	100ms
標準狀態(tài)(STP)	25℃&14.696PSIA （101.325kPa）
溫度范圍	-10～50
零點漂移	0.02％
量程漂移	0.02％
濕度范圍	0-100%
測量流量范圍	128％（過流率）
大耐壓	145psi
輸出信號（數(shù)字）	質量流量、體積流量、壓力和溫度
數(shù)字信號可選	RS485，Modbus，Profibus
輸出信號（模擬）	質量流量、體積流量、壓力和溫度
模擬信號可選	0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA
電氣連接	8針/9針/15針（根據(jù)不同類型流量計而定）
供電電壓	7-30VDC（4-20mA輸出時為：15-30VDC）
供電電流	0.035A（4-20mA輸出時為：0.055A）